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真空退火炉
  • 真空退火炉

真空退火炉

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  • 产品简介
  • 产品特点
  • 技术参数
  • 应用范围
  真空退火炉是真空技术与电炉加热技术相结合的热处理设备,由于设备可提供清洁无杂质的高真空状态,加热温度均匀且能够精确控制,因此工艺条件优越,工件质量优良,成品率高。 详情1
  •   整机采用封闭式机构,外圈有活动门,方便检修。
      外形美观,占地面积小。
      具有手动与自动两种操作模式。
      采用高精度、多功能温控仪,可自动调节与修改PID参数,存储控温曲线并可随时修改、删除以及重新设定,操作简单方便。
      采用分子泵机组,无油,清洁。
      具备多项故障显示,报警及连锁保护功能。
      炉体可以移动推拉,以加速低温段的降温。
  • 内容2
  •   适用工艺片尺寸 :  2~6英寸圆片或方片;
      常用工作温度:  400~1100℃;
      恒温区长度及精度: ≤±1℃/300mm   (800~1100℃);≤±1.5℃/300mm   (400~800℃);
      最大升温速率:  10℃/min;
      极限真空度:≤5×10-3Pa;
      气路系统: 氧气、氮气、氩气、2路备用气;
      自动控制:整个工艺过程可程序自控控制。
  • 参数
  •   用于半导体芯片(薄膜电阻等)烧结及退火处理、永磁合金制造、真空钎焊、真空除气、金属材料的无氧化光亮热处理等工艺。
  • 范围4
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