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微系统

微系统

微系统即小型系统,是融合微电子、微光子、MEMS、架构和算法五大基础要素,采用系统设计的思想和方法,将传感、通信、处理、执行和微能源等五大功能单元、通过以微纳制造及工艺为基础的系统封装集成在一起的具有

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